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考夫曼离子源 e-Mission Filament

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品牌: KRI
单价: 面议
起订: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-06-21 10:59
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离子源 e-Mission

上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供多个类型的低能量高密度的电子源, 从简单的热电子灯丝模式到中空阴极模式,典型应用在等离子和离子工艺中的阴极和阳极中和器, 通过专利技术完成电子的发射, 测量和束流控制, 广泛应用于对静电敏感和电介质材料领域.

 

离子源 e-Mission 模组化

模组化的设计有助于快速的更换维护, 节省成本. 耗材能在几分钟内进行更换, 超低的成本花费, 而且容易升级, 比如可以将浸入式灯丝的模式升级成非浸入式灯丝的模式.

 

离子源 e-Mission 功率控制

e-Mission 功率发生器通过严格的校准, 保障功率的发生, 测量和束流的控制, 因为电子束流的可控性可以实现负电荷的稳定性和可靠性.

 

离子源 e-Mission 模组

e-Mission 模组的选择取决于工艺目标, 真空系统, 运行周期和工艺材料.

 

离子源 e-Mission 应用

通常被用于等离子器件的理化工艺, 离子束源的中和器以及安装在磁控管阴极去改善溅射的能量, 同时也应用于分析仪器的电子源, 具体如下:

离子束中和器

等离子发生的离化

分析仪器中正相偏压电荷的中和

磁控溅射中电子流的增强

 

离子源 e-Mission Filament 灯丝型

灯丝电子源是一款成本低廉的阴极和中和器, 灯丝被加热到很高的温度产生可发射的热电子. 结构简单容易安装和使用, 可快速更换. 特别适合于快速回圈的工艺和执行时间较短的真空设备.

 

KRI 考夫曼离子源 e-Mission Filament

Model

HFx

SHC 1000

DSHC 1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

 1978 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论请联络上海伯东邓女士分机134


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