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上海伯东 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

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品牌: KRI
单价: 面议
起订: 1 台
供货总量: 1000 台
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-06-21 10:59
浏览次数: 20
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产品详细说明
 价格货期电议

上海伯东代理美国原装进口 KRI 线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现##的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

霍尔离子源 eH 400 尺寸

尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”

放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A

操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

 

KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数

型号

eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

供电

DC magnetic confinement

  - 电压

40-200V VDC

  - 阳极结构

模块化

电源控制

eHL-30010A

配置

-

  - 阴极中和器

Filamentless

  - 离子束发散角度

> 45° (hwhm)

  - 阳极

标准或 Grooved

  - 底座

移动或快接法兰

  - 高度

10 cm

宽度

10 cm

  - 长度

~ 100cm

  -工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

 

Model

eHL 200-3

eHL 200-5

Height (nominal)

2.9” (7.4cm)

2.9” (7.4cm)

Width (nominal)

3.3” (8.4cm)

3.3” (8.4cm)

Length (nominal)

Determined by number of modules & application

Determined by number of modules & application

Cathode/Neutralizer

Yes

Yes

Anode module

Yes

Yes

Filamentless

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Process gases

Inert, reactive, & organic

Inert, reactive, & organic

Power controller

eH Plasma Power Pack

eH Plasma Power Pack


1978 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论请联络上海伯东邓女士分机134


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